
BOOKS - EQUIPMENT - Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии...

Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии
Author: Попов В.К., Ячменёв С.Н.
Year: 1985
Pages: 130
Format: PDF
File size: 17,7 MB
Language: RU

Year: 1985
Pages: 130
Format: PDF
File size: 17,7 MB
Language: RU

The book "Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии" (Calculation and Design of Electronic and Ion Lithography Devices) provides an in-depth look at the principles and techniques used in the development of modern technology. The book covers the fundamental concepts of electronic optics and offers practical guidance on how to calculate and design devices that use electronic and ion lithography. This technology has revolutionized the field of microfabrication, enabling the creation of complex structures and patterns on the nanoscale. The book begins by introducing the basic principles of electronic optics, including the behavior of electrons in matter and the properties of electromagnetic waves. It then delves into the specifics of electronic and ion lithography, explaining how these technologies work and the various applications they have in industry and research. The author provides a detailed overview of the mathematical models used to describe the behavior of electrons in these systems, as well as the methods used to calculate the aberration characteristics of electron-optical systems with axial symmetry and small deviations from it. One of the key themes of the book is the need for a personal paradigm for understanding the technological process of developing modern knowledge. The author argues that this is essential for survival in today's rapidly changing world, where technology is constantly evolving and new breakthroughs are being made.
книга «Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии» (Вычисление и Дизайн Электронных и Ионных Устройств Литографии) обеспечивает всесторонний взгляд на принципы и методы, используемые в развитии современной технологии. Книга охватывает фундаментальные концепции электронной оптики и предлагает практическое руководство по расчету и проектированию устройств, использующих электронную и ионную литографию. Эта технология произвела революцию в области микропроизводства, позволив создавать сложные структуры и узоры на наноуровне. Книга начинается с введения основных принципов электронной оптики, включая поведение электронов в веществе и свойства электромагнитных волн. Затем он углубляется в специфику электронной и ионной литографии, объясняя, как эти технологии работают и различные применения, которые они имеют в промышленности и исследованиях. Автор приводит подробный обзор математических моделей, используемых для описания поведения электронов в этих системах, а также методов, используемых для расчёта аберрационных характеристик электронно-оптических систем с осевой симметрией и малыми отклонениями от неё. Одна из ключевых тем книги - необходимость личностной парадигмы понимания технологического процесса развития современных знаний. Автор утверждает, что это необходимо для выживания в современном быстро меняющемся мире, где технологии постоянно развиваются и делаются новые прорывы.
livre « Calcul et conception des dispositifs de lithographie électronique et ionique » offre une vision globale des principes et des méthodes utilisés dans le développement de la technologie moderne. livre couvre les concepts fondamentaux de l'optique électronique et propose un guide pratique pour le calcul et la conception de dispositifs utilisant la lithographie électronique et ionique. Cette technologie a révolutionné le domaine de la micro-production en permettant la création de structures et de motifs complexes sur le nanofils. livre commence par l'introduction des principes de base de l'optique électronique, y compris le comportement des électrons dans la matière et les propriétés des ondes électromagnétiques. Il se penche ensuite sur les spécificités de la lithographie électronique et ionique, expliquant comment ces technologies fonctionnent et les différentes applications qu'elles ont dans l'industrie et la recherche. L'auteur donne un aperçu détaillé des modèles mathématiques utilisés pour décrire le comportement des électrons dans ces systèmes, ainsi que des méthodes utilisées pour calculer les caractéristiques aberrantes des systèmes optiques électroniques avec symétrie axiale et de petites anomalies. L'un des principaux thèmes du livre est la nécessité d'un paradigme personnel pour comprendre le processus technologique du développement des connaissances modernes. L'auteur affirme que cela est nécessaire pour survivre dans un monde en mutation rapide, où la technologie évolue constamment et de nouvelles percées sont faites.
libro «Cálculo y Diseño de Dispositivos de Litografía Electrónica e Iónica» (Computación y Diseño de Dispositivos de Litografía Electrónica e Iónica) proporciona una visión integral de los principios y métodos utilizados en el desarrollo de la tecnología actual. libro cubre conceptos fundamentales de la óptica electrónica y ofrece una guía práctica para el cálculo y diseño de dispositivos que utilizan litografía electrónica e iónica. Esta tecnología revolucionó el campo de la microproducción, permitiendo la creación de estructuras y patrones sofisticados en nanociencias. libro comienza con la introducción de los principios básicos de la óptica electrónica, incluyendo el comportamiento de los electrones en la materia y las propiedades de las ondas electromagnéticas. A continuación se profundiza en la especificidad de la litografía electrónica e iónica, explicando cómo funcionan estas tecnologías y las diferentes aplicaciones que tienen en la industria y la investigación. autor ofrece una descripción detallada de los modelos matemáticos utilizados para describir el comportamiento de los electrones en estos sistemas, así como los métodos utilizados para calcular las características aberrantes de los sistemas electro-ópticos con simetría axial y pequeñas desviaciones de la misma. Uno de los temas clave del libro es la necesidad de un paradigma personal para entender el proceso tecnológico del desarrollo del conocimiento moderno. autor afirma que esto es necesario para sobrevivir en un mundo actual que cambia rápidamente, donde la tecnología evoluciona constantemente y se hacen nuevos avances.
O livro «Calcular e projetar dispositivos de litografia eletrônica e iónica» (Computação e Design de Dispositivos de Litografia Eletrônica e Iónica) fornece uma visão abrangente dos princípios e métodos utilizados no desenvolvimento da tecnologia moderna. O livro abrange conceitos fundamentais de ótica eletrônica e oferece um manual prático para calcular e projetar dispositivos que utilizam litografia eletrônica e iônica. Esta tecnologia revolucionou a microprodução, permitindo a criação de estruturas complexas e padrões em nanoviários. O livro começa com a introdução de princípios básicos da ótica eletrônica, incluindo o comportamento dos elétrons na substância e as propriedades das ondas eletromagnéticas. Depois, aprofundou-se nas especificidades da litografia eletrônica e iônica, explicando como essas tecnologias funcionam e as diferentes aplicações que têm na indústria e pesquisa. O autor apresenta uma análise detalhada dos modelos matemáticos usados para descrever o comportamento dos elétrons nesses sistemas, bem como os métodos usados para calcular as características de aberração dos sistemas ópticos eletrônicos com simetria axial e pequenas variações. Um dos temas fundamentais do livro é a necessidade de um paradigma pessoal de compreensão do processo tecnológico de desenvolvimento do conhecimento moderno. O autor afirma que isso é necessário para sobreviver em um mundo em rápida mudança, onde a tecnologia está em constante evolução e novos avanços.
«Calcolo e progettazione dei dispositivi di litografia elettronica e ionica» fornisce una visione completa dei principi e dei metodi utilizzati nello sviluppo della tecnologia moderna. Il libro comprende i concetti fondamentali dell'ottica elettronica e offre una guida pratica per il calcolo e la progettazione di dispositivi che utilizzano la litografia elettronica e ionica. Questa tecnologia ha rivoluzionato la microproduzione, consentendo di creare strutture complesse e pattern a livello nanologico. Il libro inizia con l'introduzione dei principi fondamentali dell'ottica elettronica, compreso il comportamento degli elettroni nella sostanza e le proprietà delle onde elettromagnetiche. Poi si approfondisce nella specificità della litografia elettronica e ionica, spiegando come queste tecnologie funzionano e le diverse applicazioni che hanno nell'industria e nella ricerca. L'autore fornisce una panoramica dettagliata dei modelli matematici utilizzati per descrivere il comportamento degli elettroni in questi sistemi e dei metodi utilizzati per calcolare le caratteristiche aberranti dei sistemi ottici elettronici con simmetria assiale e piccole variazioni. Uno dei temi chiave del libro è la necessità di un paradigma personale per comprendere il processo tecnologico di sviluppo della conoscenza moderna. L'autore sostiene che questo sia necessario per sopravvivere in un mondo in continua evoluzione, in cui la tecnologia è in continua evoluzione e nuove innovazioni.
Das Buch „Berechnung und Design von elektronischen und ionischen Lithographiegeräten“ (Berechnung und Design von elektronischen und ionischen Lithographiegeräten) bietet einen umfassenden Einblick in die Prinzipien und Methoden, die bei der Entwicklung der modernen Technologie verwendet werden. Das Buch behandelt grundlegende Konzepte der Elektronenoptik und bietet eine praktische Anleitung zur Berechnung und Gestaltung von Geräten mit elektronischer und ionischer Lithographie. Diese Technologie hat die Mikroproduktion revolutioniert, indem sie die Erstellung komplexer Strukturen und Muster auf der Nanoebene ermöglichte. Das Buch beginnt mit einer Einführung in die Grundprinzipien der Elektronenoptik, einschließlich des Verhaltens von Elektronen in Materie und der Eigenschaften elektromagnetischer Wellen. Anschließend geht er auf die Besonderheiten der Elektronen- und Ionenlithographie ein und erklärt, wie diese Technologien funktionieren und welche verschiedenen Anwendungen sie in Industrie und Forschung haben. Der Autor gibt einen detaillierten Überblick über die mathematischen Modelle zur Beschreibung des Verhaltens von Elektronen in diesen Systemen sowie über die Methoden zur Berechnung der Aberrationseigenschaften elektronenoptischer Systeme mit axialer Symmetrie und geringen Abweichungen davon. Eines der Hauptthemen des Buches ist die Notwendigkeit eines persönlichen Paradigmas zum Verständnis des technologischen Prozesses der Entwicklung des modernen Wissens. Der Autor argumentiert, dass dies für das Überleben in der heutigen schnelllebigen Welt, in der sich die Technologie ständig weiterentwickelt und neue Durchbrüche erzielt werden, unerlässlich ist.
Książka „Obliczanie i projektowanie elektronicznych i jonowych urządzeń litograficznych” (Obliczanie i projektowanie elektronicznych i jonowych urządzeń litograficznych) zapewnia kompleksowe spojrzenie na zasady i metody stosowane w rozwoju nowoczesnej technologii. Książka obejmuje podstawowe koncepcje optyki elektronicznej i oferuje praktyczny przewodnik po obliczaniu i projektowaniu urządzeń z wykorzystaniem litografii elektronicznej i jonowej. Technologia ta zrewolucjonizowała dziedzinę mikroprodukcję, umożliwiając tworzenie złożonych struktur i wzorów w nanoskali. Książka zaczyna się od wprowadzenia podstawowych zasad optyki elektronowej, w tym zachowania elektronów w materii i właściwości fal elektromagnetycznych. Następnie zagłębia się w specyfikę litografii elektronicznej i jonowej, wyjaśniając, jak te technologie działają i jakie mają różne zastosowania w przemyśle i badaniach. Autor przedstawia szczegółowy przegląd modeli matematycznych stosowanych do opisu zachowania elektronów w tych systemach, a także metod stosowanych do obliczania charakterystyki aberracji układów elektronoptycznych z symetrią osiową i niewielkimi odchyleniami od niej. Jednym z kluczowych tematów książki jest potrzeba osobistego paradygmatu dla zrozumienia technologicznego procesu rozwoju nowoczesnej wiedzy. Autor twierdzi, że jest to konieczne do przetrwania w dzisiejszym szybko zmieniającym się świecie, gdzie technologia stale się rozwija i dokonuje się nowych przełomów.
הספר ”חישוב ועיצוב התקנים אלקטרוניים וליתוגרפיים של יון” (חישוב ועיצוב התקנים אלקטרוניים וליתוגרפיים של יון) מספק מבט מקיף על העקרונות והשיטות המשמשים בפיתוח הטכנולוגיה המודרנית. הספר מכסה את מושגי היסוד של האופטיקה האלקטרונית ומציע מדריך מעשי לחישוב ועיצוב של התקנים באמצעות ליתוגרפיה אלקטרונית ויונית. טכנולוגיה זו חוללה מהפכה בתחום המיקרו-ייצור, ואפשרה יצירת מבנים ודפוסים מורכבים בננו-צורות. הספר מתחיל בהצגת העקרונות הבסיסיים של אלקטרונים אופטיים, כולל ההתנהגות של אלקטרונים בחומר ותכונות של גלים אלקטרומגנטיים. ואז הוא מתעמק בפרטים של ליתוגרפיה אלקטרונית ויונית, ומסביר איך הטכנולוגיות האלה עובדות והיישומים השונים שיש להם בתעשייה ובמחקר. המחבר מעביר סקירה מפורטת של המודלים המתמטיים המשמשים לתיאור התנהגותם של אלקטרונים במערכות אלה, וכן של השיטות המשמשות לחישוב מאפייני הסטייה של מערכות אלקטרונים-אופטיות עם סימטריה צירית וסטיות קטנות ממנה. אחד הנושאים המרכזיים בספר הוא הצורך בפרדיגמה אישית להבנת התהליך הטכנולוגי של פיתוח ידע מודרני. המחבר טוען שזה הכרחי להישרדות בעולם המשתנה במהירות, שבו הטכנולוגיה כל הזמן מתפתחת ופריצות דרך חדשות נעשות.''
"Elektronik ve İyon Litografi Cihazlarının Hesaplanması ve Tasarımı" (Elektronik ve İyon Litografi Cihazlarının Hesaplanması ve Tasarımı) kitabı, modern teknolojinin geliştirilmesinde kullanılan ilke ve yöntemlere kapsamlı bir bakış sunmaktadır. Kitap, elektronik optiğin temel kavramlarını kapsar ve elektronik ve iyon litografi kullanan cihazların hesaplanması ve tasarımı için pratik bir rehber sunar. Bu teknoloji, mikro üretim alanında devrim yarattı ve nano ölçekte karmaşık yapıların ve desenlerin oluşturulmasına izin verdi. Kitap, elektronların maddedeki davranışı ve elektromanyetik dalgaların özellikleri de dahil olmak üzere elektron optiğinin temel prensiplerini tanıtarak başlıyor. Daha sonra elektronik ve iyon litografinin özelliklerini inceleyerek, bu teknolojilerin nasıl çalıştığını ve endüstri ve araştırmada sahip oldukları farklı uygulamaları açıklıyor. Yazar, bu sistemlerdeki elektronların davranışını tanımlamak için kullanılan matematiksel modellerin yanı sıra, eksenel simetriye ve ondan küçük sapmalara sahip elektron-optik sistemlerin sapma özelliklerini hesaplamak için kullanılan yöntemlerin ayrıntılı bir incelemesini vermektedir. Kitabın ana konularından biri, modern bilgiyi geliştirmenin teknolojik sürecini anlamak için kişisel bir paradigmaya duyulan ihtiyaçtır. Yazar, teknolojinin sürekli geliştiği ve yeni atılımların yapıldığı günümüzün hızla değişen dünyasında hayatta kalmak için bunun gerekli olduğunu savunuyor.
يقدم كتاب «حساب وتصميم الأجهزة الإلكترونية والأيونية الحجرية» (حساب وتصميم الأجهزة الإلكترونية والأيونية الحجرية) نظرة شاملة على المبادئ والطرق المستخدمة في تطوير التكنولوجيا الحديثة. يغطي الكتاب المفاهيم الأساسية للبصريات الإلكترونية ويقدم دليلًا عمليًا لحساب وتصميم الأجهزة باستخدام الطباعة الحجرية الإلكترونية والأيونية. أحدثت هذه التكنولوجيا ثورة في مجال التصنيع الدقيق، مما سمح بإنشاء هياكل وأنماط معقدة على المستوى النانوي. يبدأ الكتاب بإدخال المبادئ الأساسية للبصريات الإلكترونية، بما في ذلك سلوك الإلكترونات في المادة وخصائص الموجات الكهرومغناطيسية. ثم يتعمق في تفاصيل الطباعة الحجرية الإلكترونية والأيونية، موضحًا كيفية عمل هذه التقنيات والتطبيقات المختلفة لديها في الصناعة والبحث. يقدم المؤلف مراجعة مفصلة للنماذج الرياضية المستخدمة لوصف سلوك الإلكترونات في هذه الأنظمة، وكذلك الطرق المستخدمة لحساب خصائص الانحراف للأنظمة البصرية الإلكترونية ذات التماثل المحوري والانحرافات الصغيرة عنه. أحد الموضوعات الرئيسية للكتاب هو الحاجة إلى نموذج شخصي لفهم العملية التكنولوجية لتطوير المعرفة الحديثة. يجادل المؤلف بأن هذا ضروري للبقاء على قيد الحياة في عالم اليوم سريع التغير، حيث تتطور التكنولوجيا باستمرار ويتم تحقيق اختراقات جديدة.
"전자 및 이온 리소그래피 장치의 계산 및 설계" (전자 및 이온 리소그래피 장치의 계산 및 설계) 책은 현대 기술 개발에 사용되는 원리와 방법에 대한 포괄적 인 모습을 제공합니다. 이 책은 전자 광학의 기본 개념을 다루며 전자 및 이온 리소그래피를 사용하여 장치의 계산 및 설계에 대한 실용적인 안내서를 제공합니다. 이 기술은 미세 제조 분야에 혁명을 일으켜 나노 스케일에서 복잡한 구조와 패턴을 만들 수있었습니다. 이 책은 물질에서 전자의 거동과 전자기파의 특성을 포함하여 전자 광학의 기본 원리를 소개하는 것으로 시작합니다. 그런 다음 전자 및 이온 리소그래피의 세부 사항을 살펴보면서 이러한 기술이 어떻게 작동하는지, 산업 및 연구에서 다양한 응용 분야를 설명합니다. 저자는 이러한 시스템에서 전자의 거동을 설명하는 데 사용되는 수학적 모델과 축 방향 대칭 및 작은 편차로 전자 광학 시스템의 수차 특성을 계산하는 데 사용되는 방법에 대한 자세한 검토를 제공합니다. 이 책의 주요 주제 중 하나는 현대 지식을 개발하는 기술 프로세스를 이해하기위한 개인 패러다임의 필요성입니다. 저자는 이것이 기술이 끊임없이 발전하고 새로운 혁신이 이루어지고있는 오늘날의 빠르게 변화하는 세상에서 생존하기 위해 필요하다고 주장합니다.
本「電子イオンリソグラフィ装置の計算と設計」(電子およびイオンリソグラフィ装置の計算と設計)は、現代技術の開発に使用される原理と方法を包括的に検討しています。本書は、電子光学の基本的な概念をカバーし、電子およびイオンリソグラフィを使用したデバイスの計算と設計の実用的なガイドを提供しています。この技術は、微細製造の分野に革命をもたらし、ナノスケールで複雑な構造やパターンを作成することができました。まず、物質中の電子の振る舞いや電磁波の性質など、電子光学の基本原理を紹介します。その後、電子リソグラフィとイオンリソグラフィの詳細を掘り下げ、これらの技術がどのように機能するのか、産業や研究におけるさまざまな応用について説明します。著者は、これらの系における電子の振る舞いを記述するために使用される数学モデルと、軸対称性とその小さな偏差を持つ電子光学系の収差特性を計算するために使用される方法の詳細なレビューを提供します。この本の主要なトピックの1つは、現代の知識を開発する技術的プロセスを理解するための個人的なパラダイムの必要性である。これは、テクノロジーが絶えず進化し、新しいブレークスルーが行われている今日の急速に変化する世界での生存のために必要であると著者は論じています。
「電子和離子光刻設備的計算和設計」一書(光刻電子和離子設備的計算和設計)全面介紹了現代技術發展中使用的原理和技術。該書涵蓋了電子光學的基本概念,並為使用電子和離子光刻的設備的計算和設計提供了實用指南。這項技術徹底改變了微生產領域,允許在納米層面上創建復雜的結構和圖案。本書首先介紹了電子光學的基本原理,包括電子在物質中的行為和電磁波的性質。然後,他深入研究了電子和離子光刻的細節,解釋了這些技術的工作原理以及它們在工業和研究中的各種應用。作者詳細介紹了用於描述這些系統中電子行為的數學模型,以及用於計算具有軸向對稱性和較小偏差的電子光學系統的畸變特性的方法。本書的主要主題之一是需要一個個人範式來理解現代知識發展的過程過程。作者認為,在當今迅速變化的世界中生存是必要的,在這個世界中,技術不斷發展並取得了新的突破。
